基本信息

---

下载

文档摘要

---

“,”

泓域咨询·“半导体设备（光刻机、刻蚀机等）项目策划书”全流程服务

“,”

PAGE

“,”

“,”

半导体设备（光刻机、刻蚀机等）项目

策划书

目录TOC\o1-4\z\u

一、环境保护原则 2

二、项目基本情况 5

三、建设单位简介 5

四、项目提出的理由 6

五、产品方案 10

六、工艺流程可行性 10

七、项目选址 11

八、建筑方案 11

九、环境保护 12

十、清洁生产 12

十一、节能评估 12

十二、绿色制造 13

十三、投资方案 13

十四、经济效益 14

环境保护原则

在进行半导体设备（光刻机、刻