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文件名称:外延工艺——【微电子工艺学】.pdf
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更新时间:2025-05-15
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文档摘要

外延工艺

§1外延工艺

一.外延工艺概述

定义:外延(epitaxy)是在

单晶衬底上生长一层单

晶膜的技术。新生单晶

2021/1/26Tuesday1

CVD:ChemicalVaporDeposition

?晶体结构良好

?掺入的杂质浓度易控制

?可形成接近突变p—n结

?外延分类:气相