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文件名称:光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法.pdf
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更新时间:2025-05-16
总字数:约3.71千字
文档摘要

标准编制说明

(征求意见稿)

标准名称:光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法

标准级别:中华人民共和国国家标准

起草单位:乐凯胶片股份有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司

编制日期:2025年4月

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《光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法》

征求意见稿编制说明

1工作简况

1.1任务来源

根据国标委发[2025]12号《国家标准化管理委员会关于下达2025年第三批推荐

性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》,全国光学功能薄膜材料标准化技术

委员会归口,乐凯胶片股份有限公司负责牵头制定《光学功能薄膜表观质量的扫描

显微镜测试方法》推荐性国家标准,计划编号T-606。

1.2制定背景

光学薄膜应用范围广泛,如:手机、电脑屏幕、液晶显示、LED照明、眼镜片、光学

器件以及光学仪器等。

缺陷对于薄膜的光学、电学、热力学等性质有很重要的影响,因此,缺陷研究在薄膜

制备、薄膜检测以及薄膜表征等领域中都有极其重要的意义。

在本行业(光学功能薄膜领域)的产品标准中,比如防眩光薄膜、自修复硬化膜、盖

板用透明硬化膜、光学级聚酯薄膜(PET)偏光片保护膜、热弯成型保护膜、偏光片用TAC

薄膜中表观质量检测都是目测法。目测法存在的问题是:通常无法清楚看到弊病点真实形

貌。比如弊病点目测为黑点,再通过显微镜分析,实则是孔洞的情况时有发生。因此,目

测法早已无法满足高速发展的薄膜生产需求。

还有一种:光学薄膜在线瑕疵检测系统,它能够代替目测法对薄膜生产进行实时在线

检测,有效的节约了人工成本。但存在的问题是:①在线瑕疵检测系统的检测幅宽跟生产

线仪器幅宽一致,且只能进行动态(即生产过程中)检查,比检查幅宽小、静态样片弊病

不能检查。②仪器辐射大,运行期间操作人员不能靠近。

现有的测试方法存在仪器测试精度低,弊病分类不准确的问题,不能满足本领域对光

学功能薄膜的测试需求。本文提出采用扫描式电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微

镜进行样品表观真实形貌的表征。

SEM是聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。由电子枪发射出的电子束,在加速电压

的作用下,经过电磁透镜汇聚成一个细小的电子探针,在末级透镜上部扫描线圈的作用下,

电子探针在试样表面作光栅状扫描。高能量电子与所分析试样物质相互作用,会产生各种

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信息。所获得各种信息的二维强度和分布与试样的表面形貌、晶体取向及表面状态等因素

有关,所以通过接收和处理这些信息,便可以得到表征试样表面形貌的扫描电子图像。

在传统光学显微镜基础上,激光扫描共聚焦显微镜用激光作为光源,采用共轭聚焦原

理和装置,并利用计算机对所观察的对象进行数字图像处理观察、分析和输出。其特点是

可以对样品进行断层扫描和成像,进行无损伤观察和分析细胞的三维空间结构。

本标准是对光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜检测方法,到目前为止,还没有国标

或行标涉及此类内容。

1.3主要工作过程

(1)在标准制定计划下达后,乐凯胶片股份有限公司牵头成立了标准起草工作小

组,工作小组首先按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结

构和起草规则》中要求,形成了标准草案。工作小组对标准草案进行了研究和评估,并

进行了验证。根据验证结果,工作小组内部讨论沟通后,完善了标准草案,并征求了相

关人员的意见后,形成了标准的征求意见稿。

1.4主要参加单位和工作组成员及其所做的工作

本标准主要参加起草单位为乐凯胶片股份有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司,工

作组成员及分工见表2:

表2工作组成员及分工

姓名单位分工