智能制造2025：材料科学与先进制造在半导体制造中的创新应用

一、项目概述

1.1项目背景

1.1.1项目背景

1.1.2项目背景

1.2项目意义

1.2.1项目意义

1.2.2项目意义

1.2.3项目意义

1.3项目目标

1.3.1项目目标

1.3.2项目目标

1.3.3项目目标

1.4研究方法与技术路线

1.4.1研究方法与技术路线

1.4.2研究方法与技术路线

1.5项目预期成果

1.5.1项目预期成果

1.5.2项目预期成果

1.5.3项目预期成果

二、材料科学在半导体制造中的创新应用

2.1半导体材料的发展趋势

2.1.1新型半导体材料的研发