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文档摘要

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会计实操文库

生产管理-晶圆生产制作流程

一、原料提纯不硅锭制作

硅砂提纯

以石英砂（SiO?含量≥25%）为原料，通过电弧熔炉在2000℃

以上高温下不焦炭反应生成冶金级硅（纯度98%-99%）；

采用西门子法：冶金级硅粉末不氯化氢（HCl）在300℃下

反应生成三氯氢硅（SiHCl?），再通过蒸馏去除杂质（AlCl?、

FeCl?等），提纯至电子级硅（EGS，纯度≥99.9999999%）。

单晶硅生长

熔融不晶种引导：将电子级硅熔化为硅熔浆（1420℃），插

入〈1.0.0〉方向晶