大尺度磁分散电弧等离子体的探针诊断研究：原理、实践与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子和中性粒子组成，广泛存在于宇宙空间以及许多工业应用场景中。大尺度磁分散电弧等离子体，作为一种特殊的等离子体形态，在现代工业领域展现出了巨大的应用潜力。它通过磁旋转电弧的方式产生，能够形成大面积且较为均匀的等离子体区域，这一特性使其在材料表面处理、等离子体化工、半导体制造等诸多关键工业过程中发挥着不可或缺的作用。

在材料表面处理方面，大尺度磁分散电弧等离子体可用于对材料表面进行改性，显著提高材料的耐磨性、耐腐蚀性和抗氧化性等性能。以航空航天领域为例，飞机发动机的叶