基本信息
文件名称：R200原子层沉积系统操作说明书手册.pdf
文件大小：5.23 MB
总页数：40 页
更新时间：2025-05-20
总字数：约3.7万字
文档摘要
儀器設備技術手冊與
訓練教材
原子層沉積系統
撰寫人：涂琇真
2023年2月23日
1
目錄
1、前言簡介…………………………4
1-1、機台基本規格………………………