超精密加工技术推动2025年半导体制造产业升级趋势报告范文参考

一、超精密加工技术概述

1.1超精密加工技术的定义与特点

1.1.1加工精度高

1.1.2加工表面质量好

1.1.3加工速度快

1.1.4加工材料广泛

1.2超精密加工技术的发展历程

1.2.120世纪60年代

1.2.220世纪70年代

1.2.320世纪80年代

1.2.420世纪90年代至今

1.3超精密加工技术在半导体制造产业中的应用

1.3.1芯片制造

1.3.2光刻设备

1.3.3封装设备

1.3.4测试设备

二、超精密加工技术在半导体制造产业中的关键应用

2.1芯片制造过程中的关键工艺