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多晶硅磁控溅射靶材项目建议书

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多晶硅磁控溅射靶材项目建议书

目录

TOC\o1-9序言 4

一、工艺先进性 4

(一)、多晶硅磁控溅射靶材项目建设期的原辅材料保障 4

(二)、多晶硅磁控溅射靶材项目运营期的原辅材料采购与管理 5

(三)、技术管理的独特特色 7

(四)、多晶硅磁控溅射靶材项目工艺技术设计方案 9

(五)、设备选型的智能化方案 10

二、建设规划分析 11

(一)、产品规划 11

(二)、建设规模 12

三、多晶硅磁控溅射靶材项目概论 13

(一)、创新计划及多晶硅磁控溅射靶材项目性质 13

(二)、主管单位与多晶