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文档摘要

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ICS19.08

CCSK80

TGVS

团体标准

T/GVS007—2022

台

平

息

射频电源动态阻抗测试方法

信

TestmethodfordynamicimpedanceofRFgenerator

准

标

体

团

国

全

2022-07-11发布2022-07-11实施

广东省真空学会发布

台

平

息

信

准

标

体

团

国

全

T/GVS007—2022

目次

1范围3

台

2规范性引用文件3

3术语和定义3

4原理3

平

5测试环境条件4

6仪器设备4

测试仪器设备4

息

网络分析仪4

射频功率测量仪4

7测试方法4

射频电源工作状态4

信

测试负载工作状态4

测量步骤6

8测试报告7

准

附录A（资料性）射频功率测量值与负载设备阻抗测量值记录格式8

附录B（规范性）射频电源动态阻抗系数的计算方法9

B.1反射系数（Γ）计算9

B.2等功率图绘制10

标

B.3动态阻抗系数（增益和最大梯度角）计算11

附录C（规范性）最佳电缆长度计算方法15

C.1应用场合15

体

C.2等离子体阻抗轨迹角计算15

C.3额外线缆长度计算16