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文档摘要

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ICS23.160

CCSJ78

TGVS

团体标准

T/GVS005—2022

台

平

息

半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法

信

测试规范

准

Testingspecificationforcontrastmethodofabsolutepressure

capacitancediaphragmvacuumgaugeinthesemiconductorequipment

标

体

团

国

全

2022-03-28发布2022-03-28实施

广东省真空学会发布

台

平

息

信

准

标

体

团

国

全

T/GVS005—2022

目次

前言III

台

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

平

4符号和缩略语2

5总则3

6测试条件要求3

息

测试装备3

标准真空计4

测试气体4

7精度测试4

信

安装4

通电检查5

预热5

准

零点、满度调节5

第一个静态平衡的测试压力点建立5

标准真空计的压力值和被测真空计的压力值测量5

拆卸5

标

测试信息记录6

8重复性精度测试6

测试要求6