基于多维度参数优化的薄膜体声波谐振器横向结构创新设计与仿真分析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代通信技术飞速发展的时代，无线通信设备的性能提升对电子元器件提出了更高要求。薄膜体声波谐振器（FBAR）作为一种关键的射频器件，在通信、雷达、传感器等领域发挥着不可或缺的作用。其利用压电薄膜的逆压电效应，将电信号转换为声波，并通过声波的谐振实现对特定频率信号的选择和处理，具有体积小、功耗低、品质因数高、谐振频率范围广等显著优势，能够满足现代通信系统对小型化、高性能射频器件的需求，因此在5G乃至未来的6G通信技术中占据着重要地位。

在通信系统中，FBAR被广泛应用于射频滤波器、双工器等