基本信息

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文档摘要

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三氯氢硅氢气复原工序操作指导书

一、范围

1、目的

按本作业指导书对生产过程进展标准化作业，确保三氯氢硅氢气复原制取合格的多晶硅。

2、适用范围

本作业指导书适用于在复原炉中用氢气复原三氯氢硅制取多晶硅工艺的操作。

二、工艺标准

1、原理

三氯氢硅和氢气在挥发器中以肯定的摩尔配比混合后进入复原炉中，炉内安装的高纯硅芯载体通过石墨加热组件与电源连接，混合气在1080℃左右温度下反响，复原出的高纯硅沉积在硅芯载体上形成棒状多晶硅，反响后的尾气进入干法回收工序。

炉内主要反响是：

SiHCl3＋H2Si＋3HCl氢复原反响

4SiHCl3Si＋3SiCl4＋2H2热分解反响

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