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文档摘要

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螺旋波低温低压氢等离子体的多维度诊断与特性研究

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子和中性粒子组成，呈现出宏观电中性，在能源、材料科学、航空航天等众多领域有着广泛的应用。低温低压氢等离子体，因其独特的物理化学性质，在材料加工、半导体制造、表面改性等方面发挥着至关重要的作用。在材料加工领域，低温低压氢等离子体可以用于刻蚀、沉积等工艺，通过精确控制等离子体中的活性粒子与材料表面的相互作用，能够实现对材料微观结构和性能的精细调控，从而提高材料的质量和性能。在半导体制造中，氢等离子体可用于清洗硅片表面的杂质和氧化物，确保半导体器件的高性能和高可靠性。在表面改性