基本信息

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文档摘要

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ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

/—

GBT262502025

代替/—

GBT262502010

电子气体砷化氢

—

ElectronicasArsine

g

2025-04-25发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT262502025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替电子工业用气体砷化氢与相比除结构

GBT262502010GBT262502010

,:

调整和编辑性改动外主要技术变化如下

———(,);

更改了范围见第章年版的第章

120101

———(,);

更改了砷化氢应符合的技术要求见第章年版的第章

420103

———(,);

更改了采样的要求见第章年版的

520104.1.2

———(,);

更改了纯度计算方法见6.12010年版的4.2

———、、、、、(,

更改了氧