《电子气体八氟丙烷》
征求意见稿
编制说明
标准起草工作组
2025年04月
一、工作简况
1.1任务来源
电子级八氟丙烷主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。八氟丙烷作为集成
电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量
发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准的要求。电子级八氟丙烷是一种理
想的电子蚀刻剂和清洗剂，广泛应用于半导体工业和微电子技术领域，八氟丙烷的纯度要求达到99.99
9%（5N）以上，选择性地与硅片的金属基质作用，用于等离子蚀刻和器件表面清洗，以满足刻蚀精度
和硅片良品率的要求。
电子级八氟丙烷作为一种高附加值精细化工产品，具有一定的技术、研发和应用价值。在早期阶段，
由于技术限制，中国电子级八氟丙烷的生产能力不足，其产品高度依赖进口。近年来，随着中国半导体
产业的不断发展，电子八氟丙烷的市场需求加快
现行的电子用八氟丙烷标准（GB/T31986-2015）已经执行10年，随着技术进步和市场变化，适
用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。2015版标准已无法满足现代集成电路产业的要求，
因此建议重新修订该标准。通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业
的发展提供质量保障。有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯
电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。
根据国标委发〔2024〕60号文，国家标准化管理委员会于2024年下达了修订计划，修订计划号：T-469。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，全国半导体设备和材料标准
化技术委员气体分会执行。
1.2工作过程的说明
1.2.1起草阶段
2024年国家标准化管理委员会下达了〔2024〕60号文，《电子气体八氟丙烷》正式立项，标准
由全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料
标准化技术委员气体分会组织昊华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气
体股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、上海华爱色
谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公
司、沈阳中复科金压力容器有限公司、西南化工研究设计院有限公司等相关单位做了大量的前期调研及
草案起草工作。
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标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际工业标
准中无八氟丙烷标准，起草小组对国际、国内电子八氟丙烷产品生产情况进行了深入调研和分析，将国
外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于2025年2月份提出了标准的讨论稿。2025年4月，
标准起草小组在线上召开标准讨论会，广泛征求生产企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的
基本结构、范围、技术指标、检验方法等进行了认真的讨论。提出了如下的意见：
（1）八氟丙烷制备方法基本为氟碳化合物为原料，因此建议适用范围修改为以氟碳化合物为原料
提纯制备。
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（2）将标准正文表1中项目名称中的“/10”放入技术指标一栏，并修改为“×10”，将项目
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名称中的“/10”放入技术指标一栏，并修改为“×10”。
（3）开展测定方法的验证试验。
1.2.2征求意见阶段
2025年5月，起草小组根据2025年2月工作组会议讨论的意见修改并提出了征求意见稿，在“全
国标准信息公共服务平台”、全国气体标准化网站、以及发送主要生产、经销、使用、科研、检验等单
位及大专院校，面向全社会广泛征集修改意见。
二国家标准编制原则和确定标准主要内容
起草小组参照了国外先进企业技术标准，做了大量的实验工