《电子气体锗烷》
标准征求意见稿
编制说明
一、工作简况
1.1任务来源
电子级锗烷主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。锗烷作为集成电路用量
大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国
家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准的要求。电子级锗烷是一种理想的电子蚀刻
剂和清洗剂，广泛应用于半导体工业和微电子技术领域，锗烷的纯度要求达到99.999%（5N）以上，
选择性地与硅片的金属基质作用，用于等离子蚀刻和器件表面清洗，以满足刻蚀精度和硅片良品率的要
求。
锗烷是一种重要的无机化合物，主要用于半导体工业中制备高纯度锗、外延和掺杂等过程。此外，
锗烷还在光电子领域有广泛应用，如制备异质结二极晶体管等。在特殊领域，如电离辐射探测器中，锗
烷也有其独特的应用。
现行的电子用锗烷标准（GB/T31987-2015）已经执行10年，随着技术进步和市场变化，适用范
围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。2015版标准已无法满足现代集成电路产业的要求，因此
建议重新修订该标准。通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业的发
展提供质量保障。有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子
材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。
根据国标委发〔2024〕60号文，国家标准化管理委员会于2024年下达了修订计划，修订计划号：T-469。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，全国半导体设备和材料标准
化技术委员气体分会执行。
1.2工作过程的说明
1.2.1起草阶段
2024年国家标准化管理委员会下达了〔2024〕60号文，《电子气体锗烷》正式立项，标准由全
国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准
化技术委员气体分会组织昊华气体有限公司西南分公司、广东华特气体股份有限公司、浙江省化工研究
院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭
司、
州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、西南化工研究设计院有限公司等相关单
位做了大量的前期调研及草案起草工作。
标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际工业标
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准中无锗烷标准，起草小组对国际、国内电子锗烷产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的
技术标准和国内实际生产情况相结合，于2025年2月份提出了标准的讨论稿。2025年4月，标准起草
小组在线上召开标准讨论会，广泛征求生产企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的基本结构、
范围、技术指标、检验方法等进行了认真的讨论。提出了如下的意见：
（1）锗烷制备方法基本为以含锗化合物为原料，因此建议适用范围修改为以含锗化合物为原料提
纯制备。
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（2）将标准正文表1中项目名称中的“/10”放入技术指标一栏，并修改为“×10”，将项目
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名称中的“/10”放入技术指标一栏，并修改为“×10”。
（3）开展测定方法的验证试验。
1.2.2征求意见阶段
2025年5月，起草小组根据2025年2月工作组会议讨论的意见修改并提出了征求意见稿，在“全
国标准信息公共服务平台”、全国气体标准化网站、以及发送主要生产、经销、使用、科研、检验等单
位及大专院校，面向全社会广泛征集修改意见。
二国家标准编制原则和确定标准主要内容
起草小组参照了国外先进企业技术标准，做了大量的实验工作，制定出了技术指标和检验方法，现
将有关情况说明如下：
2.1标准名称
2021年7月，国家标准委下达了国家标准体系优化试点工作任务，根据工作任务的要求，气体分
会对电子气体领域的标准体系情况进行