氧化硅双微环芯腔中受限回音壁模式特性与传感应用的深入探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着光学技术的飞速发展，微纳光子学领域对于高性能光学微腔的研究日益深入。氧化硅双微环芯腔作为一种新型的光学微腔结构，因其独特的光学特性和潜在的应用价值，受到了广泛的关注。

在光学微腔的众多类型中，回音壁模式微腔以其极高的品质因子和较小的模式体积，能够极大地增强光与物质的相互作用强度，成为了微纳光子学领域的研究热点之一。氧化硅材料由于其良好的光学性能、化学稳定性以及与现有半导体工艺的兼容性，被广泛应用于微腔的制备。通过精确的微纳加工技术，构建氧化硅双微环芯腔结构，能够进一步优化回音壁模式的特性，实现对光