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文件名称:2025年大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书.docx
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总页数:85 页
更新时间:2025-05-27
总字数:约4.06万字
文档摘要
大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书
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大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书
目录
TOC\o1-9前言 5
一、大直径硅单晶及新型半导体材料项目概论 5
(一)、创新计划及大直径硅单晶及新型半导体材料项目性质 5
(二)、主管单位与大直径硅单晶及新型半导体材料项目执行方 6
(三)、战略协作伙伴 7
(四)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目提出背景和合理性 8
(五)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目选址和土地综合评估 10
(六)、土木工程建设目标 11
(七)、设备采购计划 11
(八)、产品规划与开发方案 12
(九)、原