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文件名称：三氯氢硅生产知识.docx
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更新时间：2025-05-28
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文档摘要
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三氯氢硅生产方法
1、硅氢氯化法
该方法是用冶金级硅粉，作原料，与氯化氢气体反响。可使用铜或铁基催化剂。反响在200---800和0.05---3mpa下进展
2Si+HCL======HsiCL3+SiCL4+3H2
该反响所用反响器经受了从固定床、搅拌床到流化床的进展过程。工艺也从间歇进展到连续。反响器由碳钢制成，预先将归粒子参加到反响器，加热到所需地温度后，从底部连续通入氯化氢气体，产物及未反响物料被连续输出，经除尘精制后，用于生产高纯多晶硅和高纯硅烷。
上述反响是放热反响，反响热为-141。8千焦/摩尔上升温度有利于提高反响速率，但同时导致三氯氢硅选择性下降