低压力下铝化学机械抛光润滑薄膜制备与材料去除机理深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

铝作为一种重要的金属材料，以其密度小、导电性和导热性良好、耐腐蚀性较强等优势，在航空航天、汽车制造、电子电器以及建筑等诸多领域得到了极为广泛的应用。在航空航天领域，因铝的轻质和高强度特性，大量用于制造飞机的机身、机翼等结构部件，有助于减轻飞机重量，提高燃油效率和飞行性能，例如波音系列飞机的众多部件都采用铝合金材料；在汽车制造行业，铝被用于替代传统钢铁材料，减轻车辆自重，降低能耗，提升车辆操控性能，像特斯拉部分车型大量使用铝合金来优化车身结构；在电子电器领域，铝合金制成的散热器能够有效散发电子设备产生的