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文档摘要

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膜厚測定の基礎试卷含答案

关于膜厚单位纳米的描述正确的是（）?

1毫米=100纳米

1毫米=1000纳米

1毫米=10000纳米

1毫米=1000000纳米(正确答案)

触针式Profiler又称呼为（）?

段差計(正确答案)

万用表

水晶式成膜控制器

椭偏仪

关于段差计使用的长处说法不正确的是（）?

金属、化合物、无机、有机、树脂等可以对应多种膜层

因为是触針直接表面进行测定、相对来说准确度比较高

測定recipe约10mm~1cm线性宽量程也可以(正确答案)

除膜厚（段差）以外表面的形状、粗糙度、弯曲度等也可以进行测量

关于段差计使用的短处说法不正确的是（）?

触針是直接和膜的表面相接触、