基本信息

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文档摘要

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ICS27.010

CCSF01

上海市地方标准

/—

DB315062020

代替/—

DB315062010

集成电路晶圆制造单位产品

能源消耗限额

Thenormofenerconsumtionerunitroductofwaferfabricationin

gyppp

interatedcircuits

g

2020-09-25发布2020-12-01实施

上海市市场监督管理局发布

/—

DB315062020

前言

、,。

本文件4.14.2为强制性的其余为推荐性的

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》。/—,

本文件代替DB315062010集成电路晶圆制造能耗限额本文件与DB315062010相比

除编辑性修改外主要技术变化如下:

)(,);

修改了计算方法见第章年版的第章

a520104

),(,、)。

修改了集成电路晶圆制造能耗限额改为技术要求见第章年版的第章第章

b4201056

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

、,

本文件由上海市发展和改革委员会上海市经济和信息化委员会共同提出由上海市经济和信息化

委员会组织实施。

本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。

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