金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目发展计划

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金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目发展计划

目录

TOC\o1-9序言 4

一、工艺先进性 4

(一)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目建设期的原辅材料保障 4

(二)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目运营期的原辅材料采购与管理 5

(三)、技术管理的独特特色 7

(四)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目工艺技术设计方案 9

(五)、设备选型的智能化方案 10

二、背景和必要性研究 11

(一)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目承办单位背景分析 11

(二)、金刚石膜-声