基本信息

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文档摘要

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ICS23.160

CCSJ78

团体标准

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TCIE1322022

磁控溅射设备薄膜精度测试方法

Testmethodsforthinfilmthicknessofmanetronsutterineuiment

gpgqp

2022-08-10发布2022-08-10实施

中国电子学会发布

中国标准出版社出版

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TCIE1322022

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测试方法…………………2

4.1设备基本条件测试…………………2

4.2镀膜精度测试………………………3

Ⅰ

/—

TCIE1322022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子学会提出并归口。

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本文件起草单位北京航空航天大学合肥致真精密设备有限公司合肥致真智能装备有限公司

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北京维开科技有限公司北京北方华创微