基本信息
文件名称:T_ZSA 224—2024(半导体设备前端模块).pdf
文件大小:1.26 MB
总页数:14 页
更新时间:2025-05-30
总字数:约1.62万字
文档摘要

ICS31.550

CCSL95

团体标准

T/ZSA224-2024

半导体设备前端模块

Equipmentfrontendmodule

2024-04-12发布2024-04-13实施

中关村标准化协会发布

T/ZSA224-2024

目次

前言II

引言III

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4缩略语2

5结构及分类2

6技术要求3

7试验方法4

8检验规则9

9标志、包装、运输及贮存10

I

T/ZSA224-2024

前言台

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中关村标准化协会技术委员会提出并归口管理。平

本文件起草单位:北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微

电子装备有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、华海清科

(北京)科技有限公司、SMC(中国)有限公司。息

本文件主要起草人:刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘祎晨、刘福

生、周磊。信