基本信息
文件名称:T_ZSA 224—2024(半导体设备前端模块).pdf
文件大小:1.26 MB
总页数:14 页
更新时间:2025-05-30
总字数:约1.62万字
文档摘要
ICS31.550
CCSL95
团体标准
T/ZSA224-2024
台
平
息
半导体设备前端模块
信
Equipmentfrontendmodule
准
标
体
团
国
全
2024-04-12发布2024-04-13实施
中关村标准化协会发布
T/ZSA224-2024
目次
前言II
台
引言III
1范围1
2规范性引用文件1
平
3术语和定义1
4缩略语2
5结构及分类2
息
6技术要求3
7试验方法4
8检验规则9
信
9标志、包装、运输及贮存10
准
标
体
团
国
全
I
T/ZSA224-2024
前言台
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中关村标准化协会技术委员会提出并归口管理。平
本文件起草单位:北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微
电子装备有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、华海清科
(北京)科技有限公司、SMC(中国)有限公司。息
本文件主要起草人:刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘祎晨、刘福
生、周磊。信