CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结：制备工艺、特性及应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，对数据存储和处理能力的要求日益提高，自旋电子学应运而生并成为研究热点。自旋电子学，也称磁电子学，是一门新兴的交叉学科，它利用电子的自旋和磁矩，使固体器件中除电荷输运外，还加入电子的自旋和磁矩。这一领域的诞生，为突破传统电子学的瓶颈提供了新的方向，有望实现更高速、更低功耗、更高密度的数据存储与处理。

磁性隧道结（MagneticTunnelJunction，MTJ）作为自旋电子学的核心器件，具有独特的结构和性能。它由两个磁性电极之间夹着一层绝缘层构成，当两个磁