基本信息
文件名称：集成电路制造关键技术解析.pptx
文件大小：7.46 MB
总页数：25 页
更新时间：2025-06-01
总字数：约小于1千字
文档摘要
集成电路制造关键技术解析;CATALOGUE;集成电路制造概述;;智能手机;晶圆制备;核心制造工艺技术;光刻工艺;;精密加工与改性技术;刻蚀工艺;离子注入工艺;辅助工艺与质量控制;CMP原理及作用;测量与测