面向激光雷达的双轴MEMS微镜：结构创新设计与精密制备工艺探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，激光雷达作为一种重要的感知技术，在自动驾驶、机器人、测绘、安防等众多领域得到了广泛应用，并展现出巨大的发展潜力。

在自动驾驶领域，激光雷达通过发射激光束并接收反射光来获取周围环境的三维信息，为车辆提供高精度的环境感知能力，是实现高级别自动驾驶的关键传感器之一。根据佐思汽研统计，2024年激光雷达装机量达到152.9万颗，同比增长245.4%，这一增长不仅得益于自动驾驶技术的快速发展，更与激光雷达技术的不断进步和成本的降低密切相关。在机器人领域，激光雷达帮助机器人实现自