氮化硅波导谐振环：谐振型集成光学陀螺仪的理论与实验洞察

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，惯性导航系统作为关键技术，广泛应用于航空航天、自动驾驶、机器人等诸多领域，其核心部件陀螺仪对于精确测量物体的角速度和角位移起着决定性作用。谐振型集成光学陀螺仪凭借其高精度、高灵敏度、小体积、低功耗以及启动迅速等显著优势，成为了陀螺仪领域的研究热点与发展方向，在惯性导航领域展现出巨大的应用潜力，有力推动了相关技术的进步与创新。

谐振型集成光学陀螺仪的工作原理基于光学Sagnac效应，即当环形光路系统发生旋转时，沿顺时针和逆时针方向传播的两束光之间会产生相位差，这个相位差与旋转角