电容式MEMS加速度传感器的低温及辐照效应研究：特性、机理与应用挑战

一、绪论

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微电子机械系统（MEMS）技术凭借其微型化、集成化、高性能等优势，在众多领域得到了广泛应用。电容式MEMS加速度传感器作为MEMS技术的重要应用之一，能够将加速度信号转换为电容变化，进而实现对加速度的精确测量。其在航空航天、汽车电子、生物医疗、工业控制等领域发挥着不可或缺的作用，例如在航空航天中用于飞行器的姿态控制和导航，在汽车电子中用于安全气囊的触发和车辆稳定性控制，已然成为现代科技发展的关键支撑。

随着应用场景的不断拓展，电容式MEMS加速度传感器