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中国有色金属工业协会
中国有色金属协会发布
中国有色金属学会发布202X-XX-XX实施2025-XX-XX发布
202X-XX-XX实施
2025-XX-XX发布
硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
DeterminationofsurfaceimpuritycontentinpackagingbagsforsiliconpolycrystallinematerialsInductivelycoupledplasmamassspectrometry
（预审稿）
(在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上)
T/CNIAXXXX—FORMTEXTXXXX
团体标准
ICS77.040
H17
T/CNIAXXXX—XXXX
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前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。
本文件起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、四川永祥股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、乐山协鑫新能源科技有限公司。
本文件主要起草人：
T/CNIAXXXX—XXXX
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硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
1范围
本文件规定了硅多晶用包装袋内表面杂质含量的分析方法。
本文件适用于硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定，各元素（硼、钠、铝、钾、钙、磷、铬、铁、镍、铜、锌、钛、钼、钨、钴等）检出限10ng/m2。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T11446.1电子级水
GB/T12963电子级多晶硅
GB/T25074太阳能级多晶硅
GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4方法原理
将包装袋制成一定体积的试样袋后，装入一定体积5%的硝酸溶液，溶解其内表面杂质，用电感耦合等离子体质谱仪测定浸泡后溶液中各杂质的含量。
5干扰因素
5.1实验室的洁净度应满足ISO6级，容器和进样系统的洁净度、试剂及操作过程等因素直接影响测量结果的准确度，应严格控制。
5.2双原子离子、多原子离子、基体效应、背景噪声、元素间的干扰、交叉污染和仪器信号漂移等因素会影响测量结果，应将质谱仪调节至最佳状态后测试。
5.3取样过程沾污会直接影响检测结果的准确度，应确保取样过程洁净、无污染。
5.4密封样品时，封口机封条位置应控制在所画样品刻线外侧，应确保样品有效尺寸满足20cm*20cm。
6试剂和材料
6.1超纯水：实验用水应满足GB/T11446.1中描述的EW-I型或其他品质相当的去离子水。
6.2有证混合标准溶液10μg/mL：包含元素硼、钠、铝、钾、钙、磷、铬、铁、镍、铜、锌、钛、钼、钨、钴。
6.3混合元素标准溶液：准备50ml洁净的PFA容量瓶（6.6），准确移取10μg/mL的标准贮存溶液（6.2）0.5mL，用5%硝酸溶液（6.4）定容至刻度，此混合元素标准溶液中各元素浓度为100ng/mL。
6.4硝酸：质量分数65.0%～68.0%，各杂质元素含量不大于10ng/L。
6.55%硝酸溶液（体积分数）：硝酸:超纯水=5:95。
6.6样品瓶：全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA），100mL。
6.7容量瓶：全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA），50ml。
7仪器设备
7.1电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）；
7.2陶瓷剪刀；
7.3直尺，量程0cm~20cm；
7.4封口机；
7.5分析天平:感量为0.1mg；
7.6移液枪：10uL-100uL,100uL-1000uL。
8环境要求
8.1温度：18℃～25℃；
8.2相对湿度：不大于65%RH。
9样品
9.1选择一包完整的包装袋作为代表性的样品。
9.2样品应密封在双层包装袋内，为了减少环境和