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文档摘要

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超精密加工技术在半导体制造中的微细加工工艺报告模板

一、超精密加工技术在半导体制造中的微细加工工艺

1.超精密加工技术概述

1.1超精密加工技术定义

1.2超精密加工技术特点

1.3超精密加工技术方法

2.超精密加工技术在半导体制造中的应用

2.1芯片制造

2.2光刻技术

2.3微电子封装

2.4模拟半导体器件制造

2.5微电子设备制造

3.实现超精密加工的技术手段

3.1高速加工

3.2低温加工

3.3激光加工

3.4机器视觉技术

二、超精密加工技术在半导体制造中的关键工艺与应用

2.1电火花加工在半导体制造中的应用

2.2激光加工在半导体制造中的应用

2.