飞秒激光直写技术构建高集成艾里相位板及其光场衍射特性研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，光束的精确调控和微纳光学元件的制造技术一直是研究的核心方向。飞秒激光直写技术作为一种先进的微纳加工手段，以及艾里相位板作为实现特殊光束生成的关键元件，两者的结合研究具有极其重要的科学意义和广泛的应用价值。

飞秒激光直写技术凭借其独特的优势，在微纳制造领域占据了重要地位。飞秒激光具有超短脉冲和超强瞬时能量的特性，其脉冲宽度可达到飞秒量级（1fs=10?1?s），这使得激光与材料相互作用的时间极短，能够在极小的空间范围内实现精确加工，有效避免了对周围材料的热影响，因此被称为“冷加工”