基于空间光调制的微柱与螺旋结构高效加工技术：原理、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的时代，微纳加工技术作为支撑众多前沿领域进步的关键基础，其重要性不言而喻。从微观层面构建具有特定功能和结构的微纳器件，不仅推动了信息技术、生物医学、能源等领域的创新发展，还为解决一系列全球性挑战提供了新的途径和方法。在众多微纳加工技术中，空间光调制技术以其独特的优势脱颖而出，成为了实现高精度、高效率微纳加工的核心技术之一。

空间光调制技术能够对光波的振幅、相位、偏振态等物理参数进行精确的空间调制，从而实现对光场的灵活操控。通过在空间光调制器上加载预先设计的计算全息图，研究人员可以将