《微电子概论》课程教学大纲
课程名称:微电子技术概论
课程英文名称:IntroductiontoMicroelectronics
教学大纲撰写单位:西安电子科技大学微电子学院
课程学分:2.0
课内学时:32/48
课程类别:本科/硕士/专业学位
课程性质:任选
授课方式:课堂授课/多媒体视频
考核方式:闭卷
适用专业:电子科学与技术、电子信息类
先修课程:大学物理、电路
教学目标:信息社会的发展,使得作为信息社会粮食的微电子技术和集成电路得到迅速发展,越来越多的非微电子专业本科毕业生选择微电子专业继续攻读硕士学位。本课程的目的是帮助这部分同学尽快了解、掌握有关微电子的专业基础知识,为学习其他专业课程打下基础。
本课程以硅集成电路为中心,重点介绍集成器件物理基础、集成电路制造工艺、集成电路设计和微电子系统设计的基本方法以及集成电路计算机辅助设计(CAD)的概念。
教材:
郝跃,贾新章,史江义编著.微电子概论(第3版).电子工业出版社.2023.
课程主要内容:
一、概论(2学时)
微电子技术的发展历程、集成电路的分类、设计和制造特点
二、集成器件物理基础(14学时)
半导体的特点、共价键模型和能带模型、半导体中的载流子和电流、半导体基本方程;
PN结和晶体二极管、双极型晶体管、JFET与MESFET器件、MOS场效应晶体管等集成器件的工作原理、电特性、模型和基本模型参数;
三、集成电路制造工艺(8学时)
硅平面工艺的概念、氧化工艺、扩散和离子注入掺杂技术、光刻、制版、外延、金属化、引线封装、隔离技术、绝缘物上硅(SOI)技术、典型双极和CMOS集成电路工艺流程
四、集成电路设计(8学时)
集成电路中的无源与有源元件以及互连线、双极集成器件和电路版图设计、MOS集成器件和电路版图设计、双极和MOS集成电路比较。
五、微电子系统设计(8学时)
双极数字电路单元电路设计、MOS数字电路单元电路设计、半导体存储器电路、专用集成电路(ASIC)设计方法。
六、集成电路(IC)计算机辅助设计(CAD)(4学时)
ICCAD基本概念、设计流程、软件系统和典型软件、电路和系统设计描述、电路模拟和优化设计、计算机辅助版图设计、工艺模拟和器件模拟、数字集成电路和系统CAD、模拟集成电路CAD
七、IC设计举例与设计实践(4学时)
分析报告:
本课程通过理论授课使学习者掌握微电子领域相关的基础知识,同时结合多媒体视频授课,进一步让学生有更为直观的印象。本课程的目的在于对微电子的知识进行简单介绍,要求掌握基本概念和基础知识点,故采用闭卷考试进行考核。