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文档摘要

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同轴集成式宏微复合驱动器：磁路解析与智能控制策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科学研究中，精密定位技术的地位极为重要，其广泛应用于微电子制造、生物医学工程、光学仪器等众多前沿领域。在微电子制造领域，芯片加工的刻蚀、光刻等工艺对定位精度的要求极高，哪怕是极其微小的偏差，都可能导致芯片性能下降甚至报废；在生物医学工程里，细胞操作、基因检测等实验，需要能够精确控制微操作器的位置，以实现对微小生物样本的精准处理。因此，对精密定位技术的研究与提升，成为推动这些领域持续进步的关键因素。

同轴集成式宏微复合驱动器作为实现精密定位的核心部件，因其独特的结构设计，能够将宏动和微动功能巧妙地