3--PU(P)U宏微双驱动调姿定位机构：原理、建模与应用探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技迅猛发展的当下，微纳米技术已成为众多前沿领域的关键支撑，其发展推动着研究对象不断向微观尺度深入。在半导体芯片制造过程中，芯片上的晶体管尺寸已缩小至纳米级别，这就要求光刻设备的定位精度达到纳米级，以确保电路图案的精确绘制。在生物医学领域，单细胞操作技术需要对细胞进行精准的抓取、移动和注射，细胞的尺寸通常在几微米到几十微米之间，而操作精度要求达到纳米级，例如在基因编辑实验中，需要将微小的基因编辑工具精确地递送到细胞内特定位置。这些应用场景都对高精度定位系统提出了极为严苛的要求，不仅需要系统具备