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“微电子概论”试题
考试日期:年月日考试时间:120分钟
考试方式:闭卷任课教师:班号:
学生姓名:学号:
1.(20分)名词解释
(1)非本征半导体:
(2)载流子的迁移率::
(3)扩散电容:
(4)表征工艺水平的“工艺节点”
(5)集成电路的“3D封装”
(6)沟道调制效应:
(7)版图设计规则
(8)标准单元
(9)FPGA
(10)工艺模拟
2.(10分)
(1)什么是“单边突变结”?
(2)如果减少轻掺杂一侧的掺杂浓度,将导致pn结二极管的下述特性增大还是减小(只要求说明“增大还是减小”,不需要解释):
耗尽层宽度、反向饱和电流、扩散电容、势垒电容、击穿电压
3.(10分)
(1)说明双极晶体管注入效率和基区输运系数的含义。
(2)说明提高双极晶体管电流放大系数的主要途径。
4.(10分)下图是四种MOSFET的转移特性曲线,请说明每根曲线对应的器件类型(n沟或者p沟)以及工作模式(增强型或者耗尽型),并要求在图中标示出阈值电压和亚阈区。
5.(10分)
(1)说明集成电路制造工艺中“扩散掺杂”的原理。
(2)说明表征掺杂工艺的参数“方块电阻”的含义。
(3)说明“方块电阻”在集成电路设计和制造中的作用。
6.(10分)下图是常规pn结隔离集成电路中npn晶体管的版图(版图中未包括金属互连线层次)和剖面示意图
(1)在版图中标识出埋层、隔离、基区、发射区四个层次版图。
在剖面图上标识出埋层、隔离墙、隔离岛、基极、发射极、集电极。
(2)说明与该剖面图对应的工艺流程。
7.(10分)绘制纵向pnp、横向pnp晶体管剖面结构图,并简述其特性。
8.(10分)简要说明什么是只读存储器?从应用角度解释掩膜ROM、PROM、Flashmemory的优缺点及其常见应用场合。
9.(10分)
(1)阐述什么是电路综合?解释电路综合3个过程,并结合电路综合过程说明约束和单元库在集成电路设计中的作用。
(2)结合数字集成电路特点,说明集成电路工艺角对时序的影响,分析不同工艺角(ff、ss)和时序分析的相互关系。