ICS29.045
CCSH82
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/TXXXX—XXXX
颗粒硅表面粉尘含量的测定浊度法
Determinationofdustcontentonthesurfaceofgranularsilicon-Turbiditymethod
(讨论稿)
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/TXXX—XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。
本文件起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司等
本文件主要起草人：徐梦等
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YS/TXXX—XXXX
颗粒硅表面粉尘含量的测定浊度法
1范围
本文件规定了浊度仪测定颗粒硅表面粉尘含量的方法。
本文件适用于颗粒硅产品表面粉尘含量的测定。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法
GB/T8170数据修约规则与极限数值的表示和判定
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4方法原理
一定质量的颗粒硅经过超声后，表面粉尘被提取到高纯水中，通过检测高纯水的浊度来计算颗粒硅
表面粉尘的含量。
5干扰因素
5.1标准工作曲线所用硅粉粒径大小对检测结果有影响，应选用接近产品表面粉尘粒径大小的硅粉
制备标准曲线。
5.2样品超声结束后，长时间放置提取液中硅粉会沉积，影响检测结果。建议超声后30s内完成样
品检测。
5.3检测样品前应对样品管进行润洗，并擦拭表面残留液体，避免样品管对检测结果的影响。
6试剂和材料
6.1试验用高纯水均为符合GB/T6682规定的二级水。
6.2硅粉：标准曲线绘制所用硅粉粒径D98范围为（10-15）um。
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7仪器设备
7.1浊度仪：检测范围0-10000NTU。
7.2超声仪：频率为80KHz、功率为100W或双方约定同参数仪器。
7.3电子天平：感量为0.00001g和0.01g。
7.4试剂瓶：容量为150mL，材质为聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）。
7.5量筒：容量为100mL。
8试验步骤
8.1试料
称取约2.00g试样，精确至0.01g，可根据浊度测定范围适当调整称样量。
8.2平行试验
平行进行三次试验，取其平均值。
8.3空白试验
在试剂瓶（7.4）中加入100mL高纯水超声以确认容器洁净，将超声后约30mL高纯水倒入样品管
内，置于浊度仪测定浊度。