入mm三
基原十
了:ee
显微系统的差异
为您详尽说明!
形状测量激光显微系统
VK-X系列
激光显微系统和电子显微镜的差
在想要观察用光学显微镜难以观察的微小样品时，人们普遍会使用SEM《扫描电子显微镜)。SEM能够以远胜
于光学显微镜的高倍率进行观察,但是SEM需要将样品放置在真空中,为了防止带电,还必须实施金属涂层等
预处理。下面介绍借助能够以高于光学显微镜的分辩率进行观察的激光显微系统，解决这些课题的案例。
SEM示意图
样品PC图像处理
什么是扫描电子显微镜什么是激光显微系统
扫描电子显微镜用细电子束在真空中扫描样品表面，然后检扫描电子显微镜用电子束进行扫描,而激光显微系统用激光束
测产生的二次电子，并利用电脑成像。进行扫描并拍摄。在扫描激光的同时，将物镜沿着Z方向移
动,就可以获得在整张画面中都对焦的深度合成图像。基恩士
的VK-X系列采用了针孔共聚焦光学系统，通过在受光元件前
放置针孔，充分排除来自焦点位置以外的反射光和环境光,使
拍摄的分辨率比光学显微镜更加出色。
光学显微镜、扫描电子显微镜、激光显微系统的特征比较
下面介绍光学显微镜、扫描电子显微镜、激光显微系统的代表性特征。
测量仪光学显微镜扫描电子显微镜激光显微系统
光源光线电子束激光
环境并真空太气
镜头玻璃磁场玻璃
观察信率约1000们几十万信约3万信
水平分辩率0.2hm0.5至4nm0.1bm
颜色彩色黑白彩色
景深浅深深
样品蒸镀不需要需要不需要
样品切断有时需要多数情况下需要有时需要
样品损伤无真空环境/电子束造成损伤无
扫描电子显微镜的课题
二必须切断和干燥样品
在普通扫描电子显微镜的真空室内，只能放入几十mm左右的样品。因此，可
能需要预先切断样品。此外,为了在真空度为几帕斯卡《Pa)到几百帕斯卡《Pay)
的范围内进行观察，必须预先干燥样品，除去油分等物质。
《1atm=101325Pa=1013.25hPay)
“1与本公司VE系列产品的比较
四必须对样品进行蒸镀处理
扫描电子显微镜的加速电压越高，分辩率就越高，观察倍率也越高,不过当样品没
有导电性时，电子会留下来，使样品带负电。因此，必须预先在样品上共镀一层金
属膜，防止带电。普通的扫描电子