直流射频混合与双频柱面天线感性耦合等离子体的特性及应用研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子和中性粒子组成，呈现出与固态、液态和气态截然不同的物理特性。等离子体的研究在多个领域都具有举足轻重的地位，对现代科学技术的发展产生了深远影响。在能源领域，等离子体研究是实现可控核聚变的关键，有望为人类提供清洁、可持续的能源解决方案。核聚变反应利用等离子体中的轻原子核在高温高压下融合，释放出巨大的能量，这一过程不产生温室气体和长期放射性废料，被视为解决未来能源危机的理想途径之一。在材料科学领域，等离子体技术广泛应用于材料表面改性、薄膜沉积和纳米材料制备等方面。通