基本信息

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文档摘要

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入mm三

基原十

半导体前工序

传感右用途集

半导体前工序

传感器用途案例

配测干式蚀刻机/成膜

配对光刻胶涂布机/显影机

国有依料器

本四且清洗

开关洪过有二

有光刻胶涂布机/显影机

国四国步进光刻机/扫描仪

国手干式蚀刻机/成腊

EECMP

本一高子注入

LR-T系列的检测原理

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接收反射光之前的时间:

计算公式

2Ss《至日标物的往返距离)

=C《光速)x芋《接收反射光之前的时间》

TOF(TimeofFlight)+自定义1C

TOF是指根据光由工件反射后返回的时间来计算距离的测量方式。LR-T系列通过自主研发的自定义IC，可对速讶达一秒钟内可

绕地球7周半的光信号以约8GHz进行超高速采样，并在短时间内对获取的大量数据进行信号处理。

推荐传感器4

FOUP双重收纳防止检测

[优点]

*透明FOUP也可稳定检测

防止双重收纳引起的FOUP冲击

推荐传感器LE和

搬运部入口侧的安全对策

[优点]

“通过大型动作指示灯，使光栅状态一目了

然

。省空间结构

推荐传感器[让

FOUP的翘起检测

[优点]

“这是非接触式的传感器，因此不太可能因

磨损和碎导而发生故障

“薄型外壳的限定反射型

推荐传感器LR-T系列

晶圆的突出检测

[优点]

*。光点型远距离TOF激光传感器

“不易受晶贺表面状态的影响

*还备有PNP型可供选择。

从

全天FSs-N40的优点高功率x高速

〖引映射用途案例

FS-N40

系列

接收光强度