基于GaNHEMT感光栅光电探测器：制备工艺、仿真分析与性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，光电子技术已成为推动众多领域进步的关键力量。作为光电子技术的核心组成部分，光电探测器肩负着将光信号精准转换为电信号的重任，其性能优劣直接关乎整个光电子系统的运行成效。从日常的光通信设备，到前沿的光电测量仪器，再到关乎生命健康的医疗成像系统，光电探测器都扮演着不可或缺的角色，成为现代科技发展中不可或缺的关键器件。

随着应用场景的日益多元化和复杂化，对光电探测器的性能提出了愈发严苛的要求。高灵敏度、高速度以及低噪声，成为衡量其性能的关键指标。在这样的背景下，感光栅光电探测