ICS71.040.10
CCSN69
团体标准
T/CAQI368—2023
金刚石制备微波等离子体化学气相沉积
设备
Diamondpreparation—Microwaveplasmachemicalvapordepositionequipment
2023-12-25发布2024-01-25实施
中国质量检验协会发布
T/CAQI368—2023
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4缩略语1
5设备原理及分类2
6技术要求2
7技术参数5
8试验方法5
9检验规则8
10标志、包装、运输和贮存9
I
T/CAQI368—2023
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由铂世光（上海）技术有限公司提出。
本文件由中国质量检验协会归口。
本文件起草单位：铂世光（上海）技术有限公司、上海征世科技股份有限公司、西安电子科技大学
芜湖研究院、中国科学技术大学物理学院、武汉工程大学材料科学与工程学院、武汉工程大学等离子体
化学与新材料湖北省重点实验室、山东大学新一代半导体材料研究院、济南金刚石科技有限公司。
本文件主要起草人：胡常青、赵建海、蒋裕胜、满卫东、高春燕、任泽阳、祝巍、付萍、赵洪阳、
王希玮、王笃福。
II
T/CAQI368—2023
金刚石制备微波等离子体化学气相沉积设备
1范围
本文件规定了制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备（以下简称MPCVD设备）的设备原理及
分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于制备金刚石的微波模式为单模、多模的MPCVD设备。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GBZ2.2工作场所有害因素职业接触限值第2部分：物理因素
GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案
GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件
GB5959.5电热装置的安全第5部分：对等离子体装置的特殊要求
GB5959.6电热装置的安全第6部分工业微波加热设备的安全规范
GB/T7251.1低压成套开关设备和控制设备第1部分：总则
GB/T13384机电产品包装通用技术条件
GB/T32218真空技术真空系统漏率测试方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
微波等离子体化学气相沉积设备microwaveplasmachemicalvapordeposition