集成电路净化车间设计
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目录
CATALOGUE
02.
平面布局规划
04.
材料与设备选型
05.
节能环保措施
01.
03.
通风与净化系统
06.
验收与维护管理
设计标准与规范
01
设计标准与规范
PART
GB50073-2013《洁净厂房设计规范》
该标准规定了洁净厂房的设计、施工、验收和运行管理等方面的要求，是集成电路净化车间设计的重要依据。
GB50243-2016《通风与空调工程施工质量验收规范》
该标准规定了通风与空调工程的施工和验收标准，对于净化车间的空气洁净度、温湿度等参数有直接影响。
国家行业标准解读
洁净度等级要求
ISO14644-1
该国际标准规定了洁净室的空气洁净度等级，适用于集成电路净化车间的空气洁净度设计。
01
粒子数控制
对于不同洁净度等级，空气中的尘埃粒子数需控制在一定范围内，以保证产品质量。
02
微生物控制
在特定洁净度等级下，需对微生物（如细菌、病毒等）进行严格控制，防止对产品造成污染。
03
温湿度控制参数
根据生产工艺要求，确定净化车间的适宜温湿度范围，以保证产品质量和工艺稳定性。
适宜范围
温湿度的控制精度需满足生产工艺要求，通常要求波动范围在±1℃和±5%RH以内。
控制精度
在净化车间内合理布置温湿度传感器，实时监测温湿度变化，确保控制系统能够及时调整。
传感器布置
02
平面布局规划
PART
功能分区设计原则
根据生产要求和空气净化等级，将车间划分为洁净区和污染区，洁净区主要用于生产，污染区主要用于处理污染物。
洁净区与污染区分开
生产流程合理
最小空间原则
按照生产流程的顺序和要求，将原材料、半成品、成品等区域合理划分，确保生产流程的顺畅和洁净。
在满足生产需求的前提下，尽可能减少洁净车间的面积和体积，以降低空气净化成本和提高洁净度。
人流与物流通道规划
人流通道
通道标识
物流通道
设置合理的人员通道，包括进入洁净区的更衣室、风淋室等，确保人员进入洁净区前经过净化处理，避免污染。
设置独立的物料通道，将原材料、半成品、成品等分开运输，避免交叉污染。同时，物料通道应避免穿越洁净区，以减少对洁净区的干扰。
在通道处设置明显的标识和指示牌，以指导人员和物料的流动，避免混乱和误操作。
地面处理
采用防震地面或地基，以减少地震对车间的影响。同时，车间内应尽量避免设置大型设备或重物，以降低地震时的风险。
防震措施布局
设备布局
将易产生振动的设备放置在车间的边缘或底部，以减少对精密设备和洁净环境的影响。同时，设备应固定牢靠，以防止地震时发生位移或倾倒。
管道设计
对于车间内的气体、液体等管道，应采取柔性连接或设置伸缩节等措施，以防止地震时管道破裂或泄漏。同时，应定期对管道进行检查和维护，确保其正常运行。
03
通风与净化系统
PART
合理的气流方向
确保洁净空气从洁净区流向非洁净区，避免交叉污染。
均匀的气流分布
通过合理设计送风口和回风口的位置和数量，确保车间内气流分布均匀。
合理的气流速度
既要保证车内的洁净度，又要避免过大的气流速度造成不必要的能耗和设备损坏。
避免涡流和死角
避免在车间内产生涡流和死角，以减少污染物积聚和扩散的可能。
气流组织设计规范
空气过滤系统配置
初效过滤器
用于过滤大颗粒物和灰尘，保护后续过滤器。
中效过滤器
进一步过滤空气中的细小颗粒物，提高空气洁净度。
高效过滤器
最终过滤空气中的微小颗粒物，保证车间内洁净度达到要求。
过滤器的合理布局
根据车间的洁净度要求和空气流动情况，合理配置过滤器的数量和位置。
压差控制方案
合理设定压差
密封措施
压差监测与调整
压差报警系统
通过合理设定车间内各区域的压差，确保洁净空气从洁净区流向非洁净区。
实时监测车间内各区域的压差，并根据实际情况进行调整，确保压差控制在规定范围内。
采取有效的密封措施，防止外部污染空气渗入车间，影响压差和洁净度。
设置压差报警系统，当压差超出规定范围时及时报警，提醒操作人员进行处理。
04
材料与设备选型
PART
墙面地面材料标准
洁净度
耐腐蚀性
耐磨性
环保性
墙面和地面材料应满足净化车间的洁净度要求，避免产生尘埃、颗粒和化学物质等污染物。
材料应能耐受车间内使用的各种化学品的侵蚀，如酸、碱、有机溶剂等。
墙面和地面材料应耐磨、耐刮擦，以应对日常清洁和维护。
材料应符合环保要求，不释放有害气体或颗粒物。
洁净室专用设备要求
空气洁净设备
包括空气淋浴室、高效过滤器、洁净工作台等，用于去除空气中的尘埃和微生物。
02
04
03
01
洁净室检测仪器
包括尘埃粒子计数器、微生物采样器、温湿度计等，用于监测洁净车间的洁净度。
洁净室用家具
如洁净工作台、洁净室专用椅、实验台等，应具有洁净、耐腐蚀、易清洁的特点。
洁净室照明设备
应采用洁净室专用