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文档摘要

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集成电路ESD防护：原理、技术与挑战的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，集成电路作为现代电子设备的核心组成部分，广泛应用于计算机、通信、消费电子、汽车电子等众多领域，其性能和可靠性直接影响着电子设备的整体质量与稳定性。然而，随着半导体技术的飞速发展，集成电路的特征尺寸不断缩小，集成度持续提高，这使得电路对静电放电（ElectrostaticDischarge，ESD）变得愈发敏感。ESD是一种自然现象，指的是具有不同静电电位的两个物体之间，由于直接接触或静电场感应而引起的电荷转移。在集成电路的制造、装配、运输及使用过程中，ESD事件极易发生。例如，在芯片制造