基本信息

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文档摘要

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基于单片机的静电探针自动测量仪的研制与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，等离子体技术在众多领域得到了广泛应用，如材料表面改性、半导体制造、能源研究以及空间探索等。在这些应用中，准确测量等离子体参数对于理解等离子体的物理特性、优化工艺过程以及推动相关技术的发展至关重要。静电探针作为一种经典且广泛应用的等离子体诊断工具，能够直接测量等离子体中的电子温度、电子密度、空间电位和悬浮电位等关键参数，为研究等离子体的基本性质和行为提供了重要的数据支持。

传统的静电探针测量方法往往依赖于人工操作，不仅效率低下，而且容易引入人为误差，难以满足现代等离子体研究对高精度、高速度测量