光刻安全试题及答案
一、单项选择题（每题2分，共20分）
1.光刻工作间常用的照明颜色是（）
A.红色B.白色C.蓝色
答案：A
2.光刻操作中，防护眼镜主要防护（）
A.紫外线B.红外线C.可见光
答案：A
3.光刻胶属于（）
A.无毒物质B.有毒有害物质C.普通化学品
答案：B
4.光刻设备运行时，人体距离设备至少（）
A.0.5米B.1米C.1.5米
答案：B
5.以下哪种不属于光刻常见危险（）
A.化学腐蚀B.触电C.机械撞击
答案：C
6.光刻操作结束后，首先应做（）
A.关闭设备电源B.清理光刻胶C.通风换气
答案：A
7.进入光刻间必须穿戴（）
A.防尘服B.防静电服C.防火服
答案：B
8.光刻中使用的掩膜版应（）保存
A.高温B.潮湿C.干燥洁净
答案：C
9.光刻间通风系统作用不包括（）
A.降温B.排除有害气体C.提高湿度
答案：C
10.对光刻设备进行清洁时，应（）
A.带电操作B.切断电源C.随意操作
答案：B
二、多项选择题（每题2分，共20分）
1.光刻工作中可能接触到的有害物质有（）
A.光刻胶挥发物B.显影液C.定影液D.紫外线
答案：ABC
2.光刻间的安全设施包括（）
A.通风装置B.消防器材C.洗眼器D.应急照明
答案：ABCD
3.操作光刻设备前需要确认（）
A.设备运行状态B.防护装置是否完好C.电源是否正常D.原材料是否充足
答案：ABC
4.光刻胶储存需要注意（）
A.低温B.避光C.防潮D.与氧化剂分开
答案：ABCD
5.光刻操作中防止静电的措施有（）
A.穿戴防静电服B.设备接地C.控制环境湿度D.佩戴防静电手环
答案：ABCD
6.光刻设备维护内容包括（）
A.清洁B.校准C.零部件更换D.软件升级
答案：ABCD
7.光刻工作中个人防护用品有（）
A.防护手套B.防护眼镜C.防毒面具D.耳塞
答案：ABC
8.光刻间发生火灾，正确的做法是（）
A.立即报警B.使用灭火器灭火C.迅速撤离D.用水灭火
答案：ABC
9.光刻操作对环境要求有（）
A.洁净度B.温度C.湿度D.噪音
答案：ABC
10.光刻工作结束后，需要做的有（）
A.关闭设备B.清理工作区域C.整理工具D.填写工作记录
答案：ABCD
三、判断题（每题2分，共20分）
1.光刻间可以随意饮食。（×）
2.未经过培训也能操作光刻设备。（×）
3.光刻胶溅到皮肤上，应立即用清水冲洗。（√）
4.光刻设备长期不用可以不切断电源。（×）
5.防护手套可以长时间重复使用。（×）
6.光刻间的通风系统可随意关闭。（×）
7.操作光刻设备时可以戴首饰。（×）
8.发现光刻设备异常应继续操作。（×）
9.显影液不会对人体造成伤害。（×）
10.离开光刻间不必关闭照明。（×）
四、简答题（每题5分，共20分）
1.光刻操作中如何正确使用防护眼镜？
答案：选择适合光刻环境、能有效阻挡紫外线的防护眼镜，操作前检查有无损坏，使用时确保眼镜紧密贴合面部，无漏光现象。
2.简述光刻胶泄露的应急处理措施。
答案：立即停止相关操作，疏散人员。穿戴好防护用品，用吸附材料覆盖泄露光刻胶，小心收集并放入专用容器，对泄露区域进行清洁和通风处理。
3.光刻工作对环境洁净度有何要求及原因？
答案：要求高洁净度，因微小颗粒可能附着在光刻胶或掩膜版上，导致光刻图案缺陷，影响光刻质量和产品性能。
4.光刻设备操作前需进行哪些安全检查？
答案：检查设备外观有无损坏，电源连接是否正常，防护装置（如安全门、急停按钮）是否灵敏有效，通风系统是否正常运行等。
五、讨论题（每题5分，共20分）
1.讨论光刻工作中如何有效预防化学伤害。
答案：穿戴合适防护用品，如防护服、手套、眼镜等；了解化学品性质，规范操作流程；做好通风换气，及时清理化学品溅洒；定期培训，提高安全意识。
2.谈谈光刻间安全管理的重要性及措施。
答案：重要性在于保障人员安全、设备正常运行和产品质量。措施有制定安全制度，加强人员培训，定期检查设备和安全设施，规范操作流程等。
3.若光刻设备突发故障，应如何处理及避免类似情况？
答案：立即按下急停按钮，切断电源，