基本信息
文件名称:基于光场成像原理的微纳结构检测技术的创新与实践.docx
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总页数:27 页
更新时间:2025-06-09
总字数:约3.52万字
文档摘要
基于光场成像原理的微纳结构检测技术的创新与实践
一、引言
1.1研究背景与意义
随着科技的飞速发展,微纳技术已成为现代制造业的重要支柱,广泛应用于集成电路制造、生物医学工程、光学与光电子学、航空航天等多个领域,是衡量国家尖端科学技术水平的重要指标之一。在集成电路领域,微纳制造技术能够制造出更小尺寸、运行速度更快且能耗更低的电子器件,极大地推动了计算机性能的提升;在生物医学工程中,该技术可用于制造微型生物传感器、药物输送系统等,为医疗诊断和治疗提供更加精准、高效的手段;在光学与光电子学领域,微纳制造技术能够制造出性能优异的光学元件和器件,有力地推动了光电技术的快速发展。
在微纳技术中,微纳加